
芯片生產線廢水處理方法
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今天漓源環保給大家講解芯片生產線廢水處理方法,在半導體制造技術中,通過一系列的光刻、刻蝕、沉積、離子注入、研磨、清洗等工藝形成具有各種功能的半導體芯片,然后將所述半導體芯片進行封裝和電性測試,并終形成終端產品。目前,在半導體芯片的制造過程中,會產生大量的工業廢水。
在現有的解芯片生產線廢水處理過程中,通常單獨使用序列間歇式活性污泥法(SBR)或生物接觸氧化法或曝氣生物濾池(BAF),均只能對廢水進行單一的處理,例如為過濾或微生物反應或去除毒性等,由于處理方式過于單一,這常常導致過濾物質很快堵塞的問題。因此,廢水處理仍有改善的空間。
主要目的在于提供一種芯片生產線的廢水處理方法,以解決現有技術存在的處理方式過于單一,這常常導致過濾物質很快堵塞的問題。
半導體芯片行業將生產廢水處理系統分為:含氨廢水處理系統、含氟廢水處理系統、CMP研磨廢水處理系統及酸堿廢水處理系統。
含氨廢水有兩部分,一部分是濃氨氮廢水,主要含氨氮和雙氧水,氨氮濃度達400~1200mg/L;另一部分是稀氨廢水,主要含氟化氨,氨氮濃度低于100mg/L。
含氟廢水處理系統
工藝中采用CaCl溶液代替傳統去氟采用的消石灰,可減少氟化鈣污泥量、原料用量和堿液,同時,可避免粉態消石灰的逸散,防止管道堵塞,易于控制投加量,確保系統的穩定高效運行。
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